具有自动测厚补偿、多段研削程序、超负载等待等功能,满足各类工艺需求
PC工控机系统,触摸屏控制,除手动上、下片外一键式自动完成研削加工
可根据客户需求定制化各类工作台,满足各类半导体材料的研削薄化工艺
尽量减少洁净间的占地面积
单夹模自动喷油机采用多轴联动,可前后,左右,上下调节,并且可以360°旋转,
喷油可在360°范围内任意角度旋转,所以对不同位置、角度都能喷到位,
设备实行标准化作业,不良品几乎为“零”不用为了返工而苦恼,节约了大量的成本,
不同的工作喷油,只需要更换相对应的喷油模式即可。